RIGAKUT日本理學(xué)XHEMIS TX-3000V 內(nèi)置 VPD 的 TXRF 光譜儀

更新時(shí)間：2025-04-23

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XHEMIS TX-3000V

VPD 的最高靈敏度

兼容最大 300 毫米的晶圓

技術(shù)	全內(nèi)反射 X 射線熒光光譜法（TXRF）與氣相分解（VPD）
用	微量元素表面污染測(cè)量 niyoru 1E7 原子/cm2 檢測(cè)限標(biāo)測(cè)速度提高約 3 倍
科技	集成自動(dòng) VPD 制備、三光束激發(fā)和自動(dòng)光學(xué)元件更換
主要組件	三探測(cè)器配置：高功率 W 與陰極 X 射線源（9 kW 旋轉(zhuǎn)與陰極） 3 種激發(fā)能量，針對(duì)輕元素、過渡元素和重元素進(jìn)行了優(yōu)化 XYθ 樣品臺(tái) 雙 FOUP 負(fù)載端口
特征	全晶圓映射（SWEEPING-TXRF）零邊緣排除（ZEE-TXRF）集成自動(dòng) VPD 預(yù)處理（VPD-TXRF）用于硅晶圓的雙 FOUP 加載端口，可實(shí)現(xiàn)最高靈敏度
選擇	背面分析（BAC-TXRF） GEM300 軟件，E84/OHT 支持氣相處理（VPT-TXRF），以提高靈敏度，同時(shí)保留空間信息 VPD 用于親水性晶圓表面（例如 SiC）
本體尺寸	1280 （W） x 3750 （D） x 2040 （H）（不包括顯示器和信號(hào)塔）
測(cè)量結(jié)果	定量結(jié)果、光譜圖、彩色等值線圖、映射表