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XTRAIA CD-3010G日本理學RIGAKUT淺層重復結構的臨界尺寸測量

更新時間：2025-04-23      瀏覽次數(shù)：64

XTRAIA CD-3010G

斜入射 X 射線 CD 測量工具

可以使用 GISAXS 和 X 射線反射 （XRR） 測量來測量 CD，以測量薄膜厚度、密度和粗糙度。

兼容最大 300 毫米的晶圓


XTRAIA CD-3000G


XTRAIA CD-3010G 規(guī)格

技術傾斜小角 X 射線散射測量 （GISAXS）， X 射線
反射測量 （XRR）
用淺層重復結構的臨界尺寸測量
X 射線源包合管，Cu Ka （8.04 KeV）
X 射線光學元件多層反射鏡光學元件
X 射線探測器二維探測器
主要組件圖案化晶圓測量周期性
精細3D形狀線
和空間，點或孔結構
，淺孔/列，抗蝕劑，掩模圖案，存儲設備單元區(qū)域，F(xiàn)inFETs/GAAs
特征圖形識別和全晶圓映射
選擇GEM300 軟件，支持 E84/OHT
本體尺寸1865（寬）× 3700（深）× 2115（高）毫米，2965 公斤（包括裝載口）
測量目標GISAXS：間距、CD、高度、SWA（側壁角度）、RT（頂部圓角）、RB（底部圓角）、線寬分布、間距分布、高度分布
XRR：薄膜厚度、密度和粗糙度



電話：TEL

86-010-67868591

地址：ADDRESS

朝陽區(qū)住邦2000商務樓A座1號樓406B

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